| Luogo di origine: | La Cina |
|---|---|
| Marca: | BAXIT |
| Certificazione: | CE |
| Numero di modello: | BXT-MPCVD |
| Quantità di ordine minimo: | 1 (Min. Order) |
| Prezzo: | USD149080- 150000Set|1 Set/Sets(Min. Order) |
| Tempi di consegna: | GIORNI 5-8WORK |
| Termini di pagamento: | L/C, T/T, D/A, D/P |
| Capacità di alimentazione: | 5 |
| Frequenza operativa: | 2450MHz | Potenza di uscita: | 0,1 ~ 6 chilowatt continuamente regolabili |
|---|---|---|---|
| Stabilità di potere: | migliore di ±1% (@ stato stimato) | Interfaccia della guida d'onda dell'uscita: | BJ-26/22 con la flangia standard FD-26/22 |
| Input di potere: | 380VAC/50Hz, 5 cavo trifase, 11kW | Scorrimento dell'acqua di raffreddamento: | 18L/min |
| Coefficiente dell'onda di condizione del sistema: | ≤ 1,5 di VSWR | Perdita di microonda: | rispetti le norme nazionali |
| Dimensione e modo di lavoro: | Φ200 x 300 (H) modo del TM |
| Generatore e sistema di microonda | Frequenza operativa | 2450MHz |
| Potenza di uscita | 0,1 ~ 6 chilowatt continuamente regolabili | |
| Stabilità di potere | migliore di ±1% (@ stato stimato) | |
| Interfaccia della guida d'onda dell'uscita | BJ-26/22 con la flangia standard FD-26/22 | |
| Input di potere | 380VAC/50Hz, 5 cavo trifase, 11kW | |
| Scorrimento dell'acqua di raffreddamento | 18L/min | |
| Coefficiente dell'onda di condizione del sistema | ≤ 1,5 di VSWR | |
| Perdita di microonda | rispetti le norme nazionali | |
| Camera di scarico di vuoto di microonda | Dimensione e modo di lavoro | Φ200 x 300 (H) modo del TM |
| Efficace area di deposito | Φ50mm | |
| Gamma del controllo della pressione | 0.5KPa~30KPa | |
| Accuratezza di controllo della pressione | ±15Pa | |
| Acquisizione di vuoto | Singola crescita dei cristalli | tasso di crescita di 10-15μm/H, singolo ≥ 1.6mm di spessore di crescita |
| Qualità di monocristallo | quasi nessun difetti sotto l'occhio nudo | |
| Sistema di vuoto | Modo dello scoppio | materiale di riempimento con N2 |
| Ultimo grado di vuoto | migliore than8×10-4Pa | |
| Tasso di perdita di vuoto | ≤10-9pA.m3/s | |
| Aumento di pressione | 24 ore di aumento medio di pressione è meno than1Pa/H |
| Sistema di portata in peso del gas | Accuratezza | 2%-100%F.S., inletpressureis0.2-0.3Mpa |
| Tipo e gamma di gas | H2 (1SLM), CH4 (100SCCM), O2 (10SCCM), N2 (20SCCM) | |
| Sistema della fase del campione | Diametro della fase del campione | Φ60mm, raffreddato ad acqua; |
| Gamma di adeguamento di campione tavola |
0~15mm | |
| Gamma di adeguamento del piatto della cavità | 0~60mm | |
| Misura di temperatura del substrato | misura infrarossa di temperatura gamma |
600~1200℃ (misura infrarossa di temperatura) |
| Precisione del controllo della temperatura | controllo della temperatura precision±5℃; | |
| Gamma di controllo di area di temperatura costante | differenza di temperatura di ogni punto di molibdeno platform≤30℃ | |
| Interfaccia di dispositivo | Acqua dello sbocco e dell'entrata | " Cavo esterno G1 |
| Collegamento del gas | 1/4" cavo esterno di videoregistratore | |
| Interfaccia di scarico dello scarico | 3/4" cavo esterno | |
| Linea elettrica | TB4506 | |
| Resistenza di isolamento | ≥5MΩ | |
| Affidabilità | l'orario di lavoro continuo e stabile in condizioni normali non sarà più di meno di 24H | |
| Alimentazione elettrica totale | 380VAC±5%/50Hz, 3phase5wire, 13kW | |
| Acqua di raffreddamento totale | 34L/min, acqua dolce pulita, temperatura dell'acqua dell'entrata è 20℃±5℃; La pressione di acqua è 0.2~0.4MPa | |
| Dimensioni | ~1,95 (L) x0.8 (W) x1.90 (H) m. | |
